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真空精密蚀刻、
二流体蚀刻
防火/环保材质的选用
高阶密药水控制、
蚀刻段自动控制系统
面温乾燥设计 (无风段加热器、 红外线加热器设计)
可搭配扬弈的AI产品,
达到智慧化生产
製程能力
300 X 300mm~650 X 650mm
板面尺寸
0.036~10mm Max
板面厚度
40M Max
设备长度
0.5~5M/min
线速度
>85%
蚀刻均匀性
L/S=35/35um(H/H)
製程能力(tenting)
L/S=8/8um
製程能力(SAP)
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