蚀刻线检测仪

AIoT设备

解决方案

产品介绍

各式在线药水检测仪，可简易安装于线边实时分析，辅助传统化验室，精准掌握生产线药水浓度，提高生产品质。

可应用在半导体测试、印刷电路板产业中，各製程药水浓度检测，如化学铜Cu2+、NaOH、HCHO、电镀铜CuSO4、蚀刻线Fe3+、Fe2+、Cu2+、剥膜线(客製化)药水检测。

分析仪主要採用分光光度计和滴定检验等方式进行自动药水连续分析，并提供客製化需求。

设备特色

  • 三合一机型 - CMT003-H2

    三合一机型 - CMT003-H2

    ■ 在线药水检测仪：
    安装于设备线边，循环抽取药水，即时量测药水浓度。
    ■ 客製化三合一药水分析：
    Fe3+、 Fe2+、 Cu2+在线药水检测，分析方式採分光光度计进行线上药水浓度分析。
  • 分光机型 - SPM-H1(LA95)

    分光机型 - SPM-H1(LA95)

    ■ 在线药水检测仪：
    安装于设备线边，循环抽取药水，即时量测药水浓度。
    ■ Fe3+在线药水检测 ：
    分析Fe3+採分光光度计进行线上药水浓度即时分析。

产品规格

  • 三合一机型 - CMT003-H2

    三合一机型 - CMT003-H2
    操作面板
    HMI显示当前分析数值及历史量测纪录
    数据接口
    RS485介面/ Modbus RTU Slave
    历史数据
    本机储存(保存3个月)
    管制值警示
    依据设定管制值，超标异常警示
    安全设计
    水电分离设计，避免漏液造成工安风险
    标准液测试
    量测误差＜10%
    机台尺寸
    宽80×深80×高172cm

  • 分光机型 - SPM-H1(LA95)

    分光机型 - SPM-H1(LA95)
    操作面板
    HMI显示当前即时分析数值
    数据接口
    RS485介面/ Modbus RTU Slave
    标准液测试
    量测误差＜10%
    机台尺寸
    宽28.5×深11×高16.8(不含天线) cm
    宽28.5×深11×高22(含天线) cm

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