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可搭配揚弈的AI產品,
達到智慧化生產
製程能力
300 X 300mm~650 X 650mm
板面尺寸
0.036~10mm Max
板面厚度
40M Max
設備長度
0.5~5M/min
線速度
>85%
蝕刻均勻性
L/S=35/35um(H/H)
製程能力(tenting)
L/S=8/8um
製程能力(SAP)
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